X-Ray Metrology in Semiconductor Manufacturing
Durham, D. Keith (Bede Plc, UK) Bowen, Brian K. (University of Durham, UK) Tanner
| Автори | Durham, D. Keith (Bede Plc, UK) Bowen, Brian K. (University of Durham, UK) Tanner |
|---|---|
| Видавництво | Taylor & Francis Inc |
| Перекладачі | |
| Категорії: | Фізика та математика, Навчальна і довідкова |
| ISBN | 9780849339288 |
| Рік видання | 2006 |
| Мова | Англійська |
| Кількість сторінок | 296 |